最近接到新柯隆射频离子源的中和器问题的问询比较多,大多数问题和客户一起解决了。
"%WgT2)m. 新柯隆中和器因为是自匹配(没有手调的地方),所以一旦发生问题,很多客户都是一头雾水。
`T/~.`R 我在这里普及一点我知道的知识,希望大家碰到问题的时候能够给一些帮助。
L~{_!Q fkfZ>D^1 很多中和器问题的原因1:阴极的材质
"Z,q?F c 新柯隆老款是镍,新款是钽。(中间有掺杂,并非纯的)
Vi!Q 镍的优点是软,容易修正形状。但是镍在300度以上很容易氧化。
39e; 我客户新旧两款中和器上,同样的副厂镍电极,同样的冷却时间。
@#+jMV$g 老款中和器稳定运行,但是新款
设备的镍电极很快就氧化了。
5yh/0i5 | (陶瓷杯内部很多渣,产品表面麻点,中和器不稳定)
MFJE6ei 估计是新老两款中和器的温度或者散热速度不一样。
f<i7@% >Sk[vI0Y 钽的优点是耐氧化,但是一旦加热就会变脆,一旦变形无法修正。
n9LGP2#! 原厂的钽电极一般寿命在1年左右。(根据我客户问我购买的频度推测)
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\.;b9 问题的原因2:阴极的形状和
工艺 _\5~>g_ \a"Ct' 新柯隆的原厂钽中和器阴极已经改进了形状,大大减小了变形。
Zr$d20M2A; 副厂中和器有先卷成筒然后切割的,也有先切后卷的,先卷后切的不易变形。
1Wg-x0R (接近改进前的原厂部品,寿命在3~6个月左右)
i< (s}wg ~CRSL1? 问题的原因3:电气连接
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'@ 中和器是高温部件,螺丝螺母等连接件很容易氧化。
)!9Ifk0KH 推荐定时更换镀金螺丝螺母,不要用普通螺丝
gLD`wfZR (原因1:普通螺丝易氧化造成电接触不良 原因2:普通螺丝易咬死)
Qx|H1_6 u'Q?T7 问题的原因4:陶瓷
OL59e%X 国内大多数副厂的陶瓷其实已经够用了,因为阴极电压并不高。
iY[+Ywh 但是也有碰到品质极差的,比如说内部孔隙过多(气体析出造成中和器打火)
$<@\-vYvr@ 材质不对(不是AL2O3,高温下发生变形)。
j dut4 nFc ~%w~-O2 问题的原因4:气体
x!S;SU 气体流量不够或者过多都会造成不稳定。
KcGsMPJ 如果中和器有漏气,比如说波纹管漏气,气嘴和底座间隙不好,
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=M* 可以试下增加气体流量来补偿。
W@L3+4 KHiFJ_3 最后说一点:
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1A$EY 但是如果产品要求高的话,还是推荐原厂陶瓷。
Q.-*7h8 国内副厂的陶瓷大多数还是热烧结的,内部还是会有孔隙。
l1_X(Z._V 孔隙造成的中和器打火是麻点的原因之一。
\L!uHAE2a 实际上综合考虑使用寿命,原厂件不是最贵的。
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