我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ,但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下: <b/~.$a'
低真空时间: ~ %B<
0000——3.0 E0 8分钟 ~b{Gz6u>
但此时不能开启高阀 5U_H>oD
低真空必须到80E-1才可以开高阀,不然会出现反抽 fO#vF.k%
0000——8.0E-1 65分钟 \M'-O YH_[
高真空时间: $%VuSrZ&
8.0E-1——4.8E-3 65分钟 p&VU0[LIC0
4.8E-3¬——4.5E-3 20分钟(熔料) Gycm,Cy
4.5E-3——2.5E-3 60分钟 +2 Af&~T
抽真空环境: $ cj>2.
温度:26℃-28℃ Z$J#|
湿度:45% 1~$);US
烘烤温度:280℃(低阀开启时加烘烤) ^&g=u5
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可是现在不知道为什么抽不动了。 ?WE
主要表现在 u^029sH6j
0000——3.0 E0 8分钟 ]
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真空在8.5E-1就抽不动了,开高阀就出现反抽。 .xBu-?6s6
使用丙酮检漏没有发现漏点。 uYr fm:4S
扩散泵油很好,很清亮。 M:5b4$Qh<
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