摘要
@uA=v/>+ eb1WTK@ 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
}_Y&kaM TQ`s&8"P h0**[LDH s/Ne,v 设计任务
V /i~IG`h/ oKyl2jg+, 5SV w71* &[
oW"Q{ ?{=&R o 光栅特性与参数的严格分析
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o yM,.{m@F< 不同光栅周期的衍射效率
Ln-UN$2~F kXW5bR )<ig6b% !s^[|2D_U 考虑光栅周期的选择
[A jY~ om_UQgC@r 2/o_,k 偏振相关衍射特性
<TN+-)H6 uwI$t[ X|&v]mJ Y @(izC&h 偏振相关衍射特性
\7V[G6'{ r0^ *|+
&VPfI #(pY~\ 偏振相关衍射特性
C" SG': 9U]3B)h%m 1&Z#$iD P~}Yj@2 基于参数优化的光栅设计
xg(*j[ff3 y':JUwUN 具有固定周期的二维参数优化
!)r1zSY"g 4De2miq .@KI,_X6, 二维参数优化 - 设计#1
aHR+4m~) }[;{@Zn 6Pp3*O`/V bU4l|i;j 二维参数优化 - 设计#2
'_q&~M{ Ll$,"}0T 5M v<8P~ MSqW { 制造
公差分析 - 设计#2
m!-R}PQC dDrzO*a\ #1)#W6 h\ Hb&C;lk 不同光栅周期的
三维参数优化
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