摘要
KsZXdM/ =;(w Bj 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
!(=bH"P 5f&+(Wqw ;M '?k8L :cv_G;? 设计任务
K*Tj; ^cO^3= rYI9?q '2+Rb7V 1级
参数优化
i*`; /x'+ # [c`]v m7z6c"?lB 9o7E/wP 结果-容差分析
#S+GI! `$|!h-" SooSOOAx[ Vw7NLTE}` 结果-容差分析
S?.2V@Ic (dO, +~ ]<D9Q> 9)={p9FZY VirtualLab Fusion一瞥
't3/< h< IZ /M d@C SdF*"]t 1=C>S2q VirtualLab Fusion中的工作流程
=
E'\ U[5 构建光栅结构
,]e!OZ[$m −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
o ~"?K2@T −倾斜光栅高级设定[用例]
U#v??Sl •光栅衍射效率分析
X^4HYm −光栅阶序分析器[用例]
mVGQyX •使用参数优化进行光栅参数优化
vluA46c •使用参数运行的容差分析
ZgCG'SU D 6!`p6r+ gD0O7KO Mfjj+P VirtualLab Fusion技术
<\]o#w*: e=KA|"vxh