摘要
F-=er e ]&9f:5', 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
(Bmjz*%M O=-|b kO Y&j6;2-Z iYnw?4Y 设计任务
I{RktO;1 2'x_zMV {$s:N&5 ZRX>SyM 1级
参数优化
TIvLY5 HG ZU:gNO0 |YlUt~H> +0=RC^ 结果-容差分析
OsK=% aDpj _@@S,(MA fqr}tvMr=T jf%Ydr}` 结果-容差分析
Xpa;F$VI Tok"-$`N ^X_%e | k?";$C}# VirtualLab Fusion一瞥
i>rn!?b D{8V^%{ bqe;) A7 vw(};)8 VirtualLab Fusion中的工作流程
JTb<uC ):\pD]e 构建光栅结构
a1}W2;W0]g −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
=*(d+[_ −倾斜光栅高级设定[用例]
w?5b: W, •光栅衍射效率分析
#h&?wE> −光栅阶序分析器[用例]
s/T5aJR •使用参数优化进行光栅参数优化
Ti'O 2k •使用参数运行的容差分析
R4v=i)A~Z 5q)Eed 2HTZ,W JZ c5U}i VirtualLab Fusion技术
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