摘要
vZ^U]h V "_=t1UE 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
}?HWUAL\ +I}!)$/ xmfZ5nVL xl,6O!aR 设计任务
?D(aky#cyc 2+*o^`%4P 0oqOX O[p c$Pi 1级
参数优化
u<+"#.[2v~ =-qYp0sVP 1qp"D_h 5XuQQ!` 结果-容差分析
_94R8?\_V7 +k0UVZZX? |;I"Oc.w^R "{c@}~ 结果-容差分析
7h>, itcM-? #F6M<V' Pu 'NSNT VirtualLab Fusion一瞥
;q#Pl!*5 _ D"S [<>%I#7ulG c4s,T"H VirtualLab Fusion中的工作流程
ZmJ<FF4 \tP*Pz 构建光栅结构
5,\|XQA5! −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
H29vuGQjq −倾斜光栅高级设定[用例]
#RKd>ig% •光栅衍射效率分析
e2pFX? −光栅阶序分析器[用例]
Digx#'#jf •使用参数优化进行光栅参数优化
3 FMYs&0r4 •使用参数运行的容差分析
=Ew77 kovJ9 E5a7p. 8~O0P= VirtualLab Fusion技术
\VypkbE+ }C$D-fH8sW