[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 4 N H  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Gn|F`F  
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建模任务 2z6yn?'&L  
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概述 [Sr,h0h6  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 {5%5}[/x  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Izhee%c  
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光线追迹仿真 tk!t Y8j  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Bg&i63XL$$  
•单击go！ LQ(yScA@  
•获得了3D光线追迹结果。 WFO4gB*  
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光线追迹仿真 ;i Fz?d3;  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 w.H%R-Be  
•单击go！ biSz?DJ>  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 W%T>SpFl  
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场追迹仿真 q#vQv5  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 giZP.C"0  
•单击go！ ]$Yvj!K
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场追迹仿真（相机探测器） &>%T^Y|J4  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 R%Q@  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 6
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场追迹仿真（电磁场探测器） ]z l[H7  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 B$b +Ymu  
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场追迹仿真（电磁场探测器） Z @^9PQG$  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~~v3p>zRr  
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