[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 \ZS\i4  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 UV4u.7y  
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建模任务 tevQW  
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概述 [G
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 " \:ced  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 1i u =Y  
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光线追迹仿真 W<NmsG})_g  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Noh?^@T`Ov  
•单击go！ _R7 w?!t8  
•获得了3D光线追迹结果。 7 jjU  
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光线追迹仿真 yG&2UqX  
C0fmmI0z~  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Fc8E Y*  
•单击go！ ?+r!z  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 -#?<05/C>  
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场追迹仿真 rGlRAn#?,  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 4DLq}v  
•单击go！ "+|L_iuNQ  
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图片:1-1911251A335531.png

hazq#J!  
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场追迹仿真（相机探测器） 8$vK5Dnn8  
E=u/tpj  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 (9$"#o  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 }rbZ&IN\?E  
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图片:1-1911251A41O04.png

a3@w|KLt  
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场追迹仿真（电磁场探测器） IfV 3fJ7  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 GBP-V66  
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图片:1-1911251A519A0.png

~rv
})4h  
"tu*YNP\Q  
场追迹仿真（电磁场探测器） :0^s0l  
C3VLV&wF  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 sR=/%pVN  
z.)p P'CJo  

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