1.摘要
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白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
-BV8,1 0H9UM*O !=uaB. 6&J7=g%G 2. 建模任务
XRQz~Py a:v5(@8 9~7s*3zI ;?h+8Z/{ 3. 干涉条纹的变化
/Z~}dWI +,g3Xqs}X {>v5~G Q9G\T:^ury 4. 走进VirtualLab Fusion
-v@LJCK7I s(.H"_a o=zr]vv <%Al(Lm0 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
!"d"3coQ? ur$=%3vM IGnP#@`5] #ETy#jKL 6. VirtualLab Fusion 技术
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