[技术]白光迈克尔逊干涉仪 [复制链接]

1.摘要 B8P%4@T  
d~n+Ds)%F  
白光干涉仪是一种非接触测量技术，用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性，结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
aN7u j  
.*,Zh2eXU  

图片:1-191204120226228.png

l"vT@g|  
"zv+|_ZAfd  
2. 建模任务 fZGKVxo"  
Onk~1ks:  

图片:1-19120412030c28.png

S#""((U$  
5H',Bm4-  
3. 干涉条纹的变化 AUN Tc3  
Jv7M[SJ#x  

图片:1-191204120352336.png

{b+IDq`)=  
a'A0CQ
 
4. 走进VirtualLab Fusion A#p@`|H#B  
:q= XE$%H  

图片:1-1912041204141I.png

;J`X0Vl$  
?r@ZTuq#  
5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 mg3jm  
,CvU#ab8$  

• 输入场设置

• 基本光源模型[视频教程]

• 定义元件的位置和方向

• 光路图II：位置和方向[视频教程]

• 正确设置非序列追迹通道

• 非序列追迹的通道设置[使用案例]

• 使用“参数运行”检查影响/变化

• “参数运行文件”的使用[使用案例]

图片:1-191204120454308.png

{=(4  
5 )C~L]  
6. VirtualLab Fusion 技术 G{s ,Y^  
a`{'u)@  

图片:1-19120412051Q53.png