[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 j =WST  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 2f:Eof(B  
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建模任务 < hO /jB  
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仿真干涉条纹 O.Iu6D  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 ;._7jFj.  
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•设置输入场 7.@TK&  
−基本光源模型[教程视频] A
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•使用导入的数据自定义表面轮廓 =gvBz| +  
•定义元件的位置和方向 P=&o%K,:f  
− LPD II：位置和方向[教程视频] 9Xl5@%uz?z  
•正确设置通道以进行非序列追迹 _~tEw.fM5  
−非序列追迹的通道设置[用例] C,NxE5?h  
•使用参数运行检查影响/变化 w'fT=v
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−参数运行文档的使用[用例] uN^=<B?B  
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