[技术]白光迈克尔逊干涉仪 [复制链接]

1.摘要 bXXX-Xc  
wS&D-!8v  
白光干涉仪是一种非接触测量技术，用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性，结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 C|w<mryx  
l.Ev]G/5  

图片:1-191204120226228.png

(0`w.n  
/4;A.r`;  
2. 建模任务 .;ofRx<  
98?O[=  

图片:1-19120412030c28.png

)flm3G2u  
y3QS!3I  
3. 干涉条纹的变化 Y
hmveV  
D Y4!RjJ47  

图片:1-191204120352336.png

Wc!]X.|9*  
xWK/uE(  
4. 走进VirtualLab Fusion T9]0/>  
afD {w*[8  

图片:1-1912041204141I.png

34k>O  
(pP.*`JRv  
5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 ONy\/lu|  
)uR_d=B&  

• 输入场设置

• 基本光源模型[视频教程]

• 定义元件的位置和方向

• 光路图II：位置和方向[视频教程]

• 正确设置非序列追迹通道

• 非序列追迹的通道设置[使用案例]

• 使用“参数运行”检查影响/变化

• “参数运行文件”的使用[使用案例]

图片:1-191204120454308.png

/]-yZ0hX0O  
>BK/HuS  
6. VirtualLab Fusion 技术 P6ktA-Hv>  
UHU ,zgM  

图片:1-19120412051Q53.png