摘要
8^\}\@ _x&;Fa% 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
6E/>]3~! xI}o8G KQq >/mi#Y6 l*>t@:2J 建模任务
5b45u 6 `bT!_ Ru ZUP\)[~ 仿真干涉条纹
XK??5'&{ C~4_Vc* ]E'BFon 走进VirtualLab Fusion
i!+D
,O TG7Ba[% nwswy]e8/ TP o%zZo VirtualLab Fusion中的工作流程
O4RNt,?l :f%FM&b •设置输入场
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4 −基本光源
模型[教程视频]
yTzP{I •使用导入的数据自定义表面轮廓
e8g"QDc •定义元件的位置和方向
uMVM- (g% − LPD II:位置和方向[教程视频]
KiYO,nD;\ •正确设置通道以进行非
序列追迹
DP\s-JpI[ −非序列追迹的通道设置[用例]
!+T\}1f7d •使用
参数运行检查影响/变化
g?`g+:nug −参数运行文档的使用[用例]
W9n0Jv ]T|9>o! _nu,ks+ qcMVY\gi VirtualLab Fusion技术
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