1.摘要
~36)3W[4 &n}eF- 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
EAdr}io ~]d3
f $jc&Tk# K5h2 ~ 2. 建模任务
Q^B !^_M c,v?2*< U= Gw( \8KAK3i' 3. 干涉条纹的变化
l{2Y[&% +K@wh =SY`Xkj[ Wubvvm8U 4. 走进VirtualLab Fusion
}.L\O]~{ G1X${x7 oB$P6 |5;:3K+ 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
&f;<[_QI= d'x'hp% :vsF4 M9t`w-@_w 6. VirtualLab Fusion 技术
0m,3''Q5lO -;i vBR