[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 g? C<@  
880T'5}S :  
扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 WKq{g+a  
v\5`n@}4  

图片:1-191209152110491.png

bq{eu#rQJ  
Mp@dts/|  
建模任务 WT1d'@LY  
(,RL\1zJ  
bFJ>+ {#  
仿真干涉条纹 T t
$] [  
QL-E4]  
)OFf nKh  
走进VirtualLab Fusion T~d_?UAw$  
> v4+@o[~  

图片:1-191209152K5539.png

|sAl k,8s  
6<YAoo  
VirtualLab Fusion中的工作流程 9o
l&p>  
F2Mxcs*M  
•设置输入场 =V:Al   
−基本光源模型[教程视频] 7<LCX{Uw  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 kU{a!ca4  
•定义元件的位置和方向 }?9A:&  
− LPD II：位置和方向[教程视频] i8=+<d  
•正确设置通道以进行非序列追迹 3k:`7E.  
−非序列追迹的通道设置[用例] Q|7m9~  
•使用参数运行检查影响/变化 w[u>*I  
−参数运行文档的使用[用例] )1!0'j99.  
caL\ d  

图片:1-191209152Tb56.png

(b7',:_U7  
Po\d!  
VirtualLab Fusion技术 CZkmd  
352RJC