[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 W
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 /~k)#44  
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建模任务 st8=1}:&\  
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仿真干涉条纹 2(s+?n.N  
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走进VirtualLab Fusion sk0N=5SB-  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 H<^*V8J 'w  
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•设置输入场 6##}zfl  
−基本光源模型[教程视频] I=N;F6  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 jafIKSD]%  
•定义元件的位置和方向 VxlK:*t`  
− LPD II：位置和方向[教程视频] %SWtE5HZQq  
•正确设置通道以进行非序列追迹 ;(]O*{F7k  
−非序列追迹的通道设置[用例] 3' Ht
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•使用参数运行检查影响/变化
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−参数运行文档的使用[用例] ^LA.Y)4C2%  
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VirtualLab Fusion技术 &e#>%0aS  
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