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摘要 b<(UmRxx3 HCIF9{o1j> gqD^Bs'VF 6J-}&U 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 !(_xu{(DL 7oe@bS/Z 建模任务 !J=;Z9 +R#`j r" >jz%bY LEngZ~sV/ 由于组件倾斜引起的干涉条纹 D^s0EW-E e3={$A h V=4u7!ha
(bFWT_CChz 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 khN:+V| @
U8}sH^ \m~\,em YNJpQAuSn) 文件信息 9poEUjBI ({_:^$E\ {8Jk=)(md
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