摘要 vvh.@f xKW"X
共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利,后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光,有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中,我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜,并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
uu3M{*} TSXTc' 建模任务 eUs-5
L X8b#[40: 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,它如何检测物体横向位移导致的
功率变化?
('BLU.7IX jM\ %$_/ 焦点区域的探测场 no3Z\@% J9a $AU* Qtnv#9%Vi 测试对象的直接反射 Y`]rj-8f0B #11RLvDQd (fd[P|G_] 测试对象的直接反射 U3VT*nj' L<E/,IdE #ko6L3Pi 测试对象的像 wiBuEaUkW RO$*G
jQd @H4wHlb 测试对象的像 <{ #<5 8 EOQaY ~*kK4]lP 功率测量与测试对象的横向偏移 +{0=<2(EC