摘要 UALg!M# 7/^TwNsv 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利,后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光,有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中,我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜,并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
yNLa3mW 8aZey_Hw;+ 建模任务 BuEQ^[Ex |L.~Amd 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,它如何检测物体横向位移导致的
功率变化?
~x0-iBF \c9t]py<.h 焦点区域的探测场 pE(<XD3Q 8H3!; ] :b M$; 测试对象的直接反射 `G ;Lz^ K)h"G#NZM Cb@S </b 测试对象的直接反射 (}~eD
_A)_K;cz < ;%q
测试对象的像 XC$+ `? '.h/Y/oz 5QL9w3L 测试对象的像 XftJ= * +}(B856+ 2W"cTm
功率测量与测试对象的横向偏移 q*RaX
4V