[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 o9>r -  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。
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建模任务 !PJ;d)\T  
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概述 J?u",a]|H"  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 %<:?{<~wH9  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 mI"`.  
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光线追迹仿真 8K7zh.E  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 NZmmO )p4  
•单击go！ DBbmM*r  
•获得了3D光线追迹结果。 =^O84Cp 6  
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光线追迹仿真 0

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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 !G Z2|~f9  
•单击go！ p~DlZk"  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 X Oc0j9Oa  
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场追迹仿真 v6;XxBR6  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 w[UPoG #Uh  
•单击go！ {>pB  
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场追迹仿真（相机探测器） ;M>0,  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 z@{|Y;s  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Y6W3WPs(  
Fu(e4E  

图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） 7a->"W  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 *<OWd'LI  
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图片:1-1911251A519A0.png

RHz'Dz>0  
rbqH9 S  
场追迹仿真（电磁场探测器） f8B*D4R}  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 6oL-Atf  
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