摘要
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N p K~>kruO"; jp]JFh;3 由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的
光栅设计来说,面对光栅
参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。
VirtualLab Fusion为
光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入
优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一
系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价
函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。
Z5=!R$4 )J0VB't 仿真任务
&Te:l-x *79<ypKG$ ?`>yl4 C*!_. <b 连接建模技术:倾斜光栅
n6}1{\ zU%aobZ >Z%^|S9 &.,OvVAo 可用的微
结构建模技术:
lzuZv$K :\Z0^{ q.7CPm+ ~6nQ- 光栅阶数分析仪
+}Pa/8ybJ !QovpO">z t-Wn@a _xUXt)k 参数变化分析仪
1"k@O)?JP pK`rm"6G U#}.r< ?cvv!2B]T 参数优化
v\c3=DbO gyK"#-/_d $4"OD"Z Cq 3kMiC$ 优化结果-平均效率
@'<|B. f Ou%>Dd5|? wK_}`6R/ %YXC-E3@O 优化结果-对比度
~"N]%Cu f19
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