[技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

摘要                                                                             P^ptsZ%  
J+Q+&-a  

图片:1-24012R10U91I.png

>(hSW~i~  
9mam ~)_ |  
由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             &J8Z@^  
`AWy!}8  
仿真任务                                                                              }10\K  
    )|v^9  

图片:1-24012R1102B09.png

kmryu
=  
HbcOTd)=5  
连接建模技术:倾斜光栅 Aj[?aL  
!X^Hi=aV  

图片:1-24012R1120W57.png

                                                                     UQ/qBbn  
R)ERxz#  
可用的微结构建模技术: kr%2w  
gX[|;IZ0o  

图片:1-24012R1140H29.png

K
&*i
w`  
                                                                                 (=1)y'.  
光栅阶数分析仪 Ng\/)^  
Ck: 9gn  

图片:1-24012R12K44c.png

MR`:5e  
wMGk!N  
参数变化分析仪                                                                             OFA{ KZga  
   VZ$=6CavH  

图片:1-24012R12T0E3.png

                                                                             OB(pIz
Se  
_2b
9QP p  
参数优化                                                                             o/C(4q
6d  
f\fdg].!  

图片:1-24012R12924306.png

                   *l{yW"Su  
Guh%eR'Wt  
优化结果-平均效率 "< v\M85&  
'Y.Vn P&H  

图片:1-24012R13009193.png

                                                   9qK
zS<"h  
;6ky5}z  
优化结果-对比度 J{`eLmTu  
98fu>>*G{  

图片:1-24012R13052X3.png