[技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

摘要                                                                             J{Jxb1:c  
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由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             fXN;N&I  
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仿真任务                                                                             y=CemJ[
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   uAP|ASH9T  

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^t"\PpmK<d  
L(L;z'3y  
连接建模技术:倾斜光栅 L_(|5#IDw  
\*7Tj-#  

图片:1-24012R1120W57.png

                                                                     {pqm&PB04  
"(5M }5D  
可用的微结构建模技术: ev>: 3_ s  
#8A|-u=3  

图片:1-24012R1140H29.png

^U52 *6  
                                                                                 nxG vh4'i8  
光栅阶数分析仪 g)zy^aDf  
q8U]Hyp(`  

图片:1-24012R12K44c.png

MxYCMe4S[  
Ut<_D8Tzx  
参数变化分析仪                                                                              j%lW+[%  
   j=7]"%  

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                                                                             .gB#g{5+J  
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参数优化                                                                             [mhY_Hmz]  
XG0,
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                   pl%ag~i5  
[p(Y|~  
优化结果-平均效率 ,E_hG3}}  
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                                                   h5~tsd}OU  
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优化结果-对比度  `=oN&!  
P/27+5(|  

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