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]2'{W]m a>/jW-? 元件内部场分析器:FMM允许用户可视化和研究微
结构和
纳米结构内部的电磁场分布。为此,使用傅立叶模态法/严格耦合波分析(FMM/RCWA)计算周期性结构(透射或反射、电介质或金属)内部的场。还可以指定场的哪一部分应该可视化:正向模式、反向模式或两者同时显示。
6$"0!fl> 09C[B+>h 元件内部场分析仪:FMM DeL7sU S!wY6z 4.0JgX 元件内部场分析器:FMM是
光栅光学装置的独有功能,可提供光栅结构内部电磁场的可视化。
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L 评估模式的选择 X4}Lg2ts )a'c_ 2[ UkV{4*E 为了更容易地区分入射场、反射场和透射场,可以仅评估正向或反向传播模式,或者评估两者的总和。
D_4UM#Tw ~LuR)T=%es 评价区域的选择 pCm |t!, vTF_`X En]+mIEo h>[][c(b 元件内部场分析器:FMM可以输出整个元件(包括基板)内部的场,或者只输出一个堆栈或基块(基板)中的场。
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/ 不同光栅结构的场分布 7L\kna< KZ}F1Mr 任意形状的光栅结构可以通过元件内部场分析仪进行分析。以下是几个例子:
W2\Q-4D ><Z`)}f msiftP. 光栅结构的采样 WSPlM"h p .^#mN 虽然分析仪为输出数据提供了一些采样选项,但
系统中定义的光栅表面必须正确采样(例如,分解点和过渡点的层数足够)。
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2v69nu~q 3d0Yq L_WVTz?` 分解预览展示了如何根据当前采样因子对光栅结构进行采样。
.^J7^Ky, HX]pcX^K 光栅结构的充分采样意味着已经实现了收敛,即进一步增加采样不会显著影响产生的场。例如,如果层分解过于粗糙,则可能会由于纵断面中的大台阶而产生其他影响。
;+/[<bv d" BXf.^s{H :Sj r 输出数据的采样:一维周期光栅(Lamellar) ZHku3)V=o =Nj58 l !@<>S>uGG 对于1D周期性(片状)光栅,分析仪使用对话框“采样”部分中指定的
参数生成2D横截面
图像。
^%qhE8 u LXV, 输出数据的采样:二维周期光栅 +o\s
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3 当分析的光栅设置为2D Periodic时,Field Inside Component Analyzer:FMM将通过结构生成一系列二元截面,z方向的采样参数决定执行的切割次数。
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