摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
K_dOq68_ O%FPS= 任务
J>/w5$h5 • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
r#XT3qp$d • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
aG^4BpIP vd8{c7g:n EVoEszR 模拟与设置:工具简介与整体流程概览
k1QpKn* 连接建模技术:衍射光束分束器
YCP) %} *8LMn g1jTy7g? 通过配置助手和IFTA进行相位设计
t+eVR8 () j=5KDu {7)st
W 将传输函数转化为结构
M@5?ZZ4L p\bDY |`cKD > 衍射光束分束器表面
M%@ !cW }K&7%N4LZ ;aw=MV 衍射光束求解器 - TEA & FMM
gSh+}r<7 ~c&bH]cj 0zi~p>*nJC 光栅级数 & 可编程光栅分析器
ho$+L (;q;E\Ejq zRyuq1Zyc, 设计与评估结果:
*NG+L)g • 相位函数设计
6Udov pl • 结构设计
\Cii1\R= • TEA 评估
UXh9:T'% • FMM 评估
IP(Vr7-v • 高度缩放检查(用于优化/容限)
m&?#;J|B$ ( vca&wI! 仅相位传输设计
-:na:Vsi % ClHCoyA /K(o]J0F 结构设计
Iu <?&9t (Tbw3ENz QnJZr:4b 使用TEA进行性能评估
T7#W0^tj dUQDOo /bi}'H+# 使用FMM进行性能评估
}yz (xH WS`qVL]^& #H:7@ 进一步的分析(优化后,容差分析)
!Ze5)g%H GgB,tam{p lqm1!5dt 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
1 A\OC |fHV2Y`:g hUF5fZqii 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
} x2DT8u !s&NT @ S D`$hPYK|_ 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
W`u[h0\c P9vA7[