摘要
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eo<~1w 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,
倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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| ;8%@Lan 设计任务
ys.!S.k+ %`s9yRk9>E =AnZ>6 \fM!^ 1级
参数优化
M$>WmG1~D 5EV8zf +NzD/.gq _,K>u6N& 结果-容差分析
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,39$iHk #r:Kg&W2FO `aX}.{.! #:ED 0</ VirtualLab Fusion一瞥
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x{ %.6?\w1e VirtualLab Fusion中的工作流程
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t 9^Vx*KVrU 构建光栅结构
d,Dg"Z −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
c;t(j'k` −倾斜光栅高级设定[用例]
@R-~zOv •光栅衍射效率分析
1o6J9kCq^3 −光栅阶序分析器[用例]
5f`XFe$8 •使用参数优化进行光栅参数优化
lA^Kh •使用参数运行的
容差分析
HU'`kimWb 1Sc~Vb|> gU 2c--` 7q{v9xKy VirtualLab Fusion技术
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