1.摘要
Lmb<)YY 7F.,Xvw&@ 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
yWzTHW`)Mr r`2& o =R05H2hs <CFur 2. 建模任务
#XsqTK_nk o0 Ae*Y0 rfjQx]3pB SpgVsz 3. 干涉条纹的变化
&kG<LGXP# Dng^4VRd h>wU';5#f $IHa]9 { 4. 走进VirtualLab Fusion
[#:k3aFz `d8TA#|` b{&@Lm0Tn o! 8X< o 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
y;;@T X oW6.c]Vo |s:!LU&OL\ "P6MLf1 6. VirtualLab Fusion 技术
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