[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 wA=r]BT  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 \k.`xG?  
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建模任务 $KiCs]I+  
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仿真干涉条纹 EKwQ$?I  
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走进VirtualLab Fusion rs&]4
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VirtualLab Fusion中的工作流程 xM*_1+<dT$  

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•设置输入场 Jl Do_}  
−基本光源模型[教程视频] ?\}Gi(VVE  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 #~*v##^vFH  
•定义元件的位置和方向 RgJ@J/p"  
− LPD II：位置和方向[教程视频] $)i`!7`4=  
•正确设置通道以进行非序列追迹 kRp]2^}\s\  
−非序列追迹的通道设置[用例] 6>>; fy2  
•使用参数运行检查影响/变化 Dyov}
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−参数运行文档的使用[用例] -Zt!H%U  
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VirtualLab Fusion技术 /WrB>w  
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