摘要
'Pltn{iq[ ub?K, 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
L#h:*U{@40 72db[ m>&HuHf 'W. Vr4 建模任务
}OShT+xeX K`:=]Z8 Bstk{&ew 仿真干涉条纹
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_3YY 3yS 走进VirtualLab Fusion
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/FY2vDfU6 5 MxL*DB=b $A\m>*@ VirtualLab Fusion中的工作流程
$6f\uuTU2" 3eIr{xs •设置输入场
USML~]G
z −
基本光源模型[教程视频]
m@xi0t •使用导入的数据自定义表面轮廓
0Ce]V,i6C> •定义元件的位置和方向
7hNb/O004 −
LPD II:位置和方向[教程视频]
Xo5$X7m •正确设置通道以进行非
序列追迹
5t:8.%<UK −
非序列追迹的通道设置[用例]
qztV,R T •使用
参数运行检查影响/变化
wNCCH55Pt −
参数运行文档的使用[用例]
x ,/TXTZ6 8s}J!/2 mPZGA\ [G|mY6F^ VirtualLab Fusion技术
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