[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 *u;Iw{.{  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 nZYBE030  
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建模任务 <h *4Q  
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YT(AUS5n  
模拟&设置：单平台互操作性 -6B4sZpzD  
建模技术的单平台互操作性 9q~s}='"  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 P\k# >}}  
C e$w8z  

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 平面波光源 s!$7(Q86R  
 微透镜阵列 20Wg=p9L  
 彩色滤光片(吸收介质) 7zG_(83)K  
 通过基底传播 {3aua:q  
 探测 YNi.SXH  
2[02,FG  
连接建模技术：微透镜 9'bwWBf7  
+52{-a,>  

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pZy~1L  
连接建模技术：彩色滤光片
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%1+4_g9  

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pYf-S?Y/V  
c{w2Gt!  
连接建模技术：可编程介质 ]~siaiN[  
EXqE~afm2  

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连接建模技术：自由空间传播 },-H"Qs  
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Otn1wBI  
连接建模技术：堆栈 X!EP$!  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 :^h$AWR^f  
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图片:1-231026212S44J.png

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 微透镜阵列 uQKT  
 彩色滤光片(吸收介质) bV3|6]k^  
 通过基底传播 Cq~dp/V  
 探测 b@hqz!)l`  
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元件内场分析器：FMM +ami?#Sz*;  
$/Uq0U  

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S{T >}'y  
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模拟结果 KHvYUTY  
8zW2zkv2|#  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) FGBbO\</  
H3-hcx54T  

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$VOFOc  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) \1M4Dl5!  
QQc -Ya!v  

图片:1-2310262131263Q.png

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O+x!Bg7   
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) >uEzw4w  
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(Es(Sb}c  
3D仿真与结果比较 ^E>3|du]O  
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3D仿真与结果比较 qwAT>4  
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