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摘要 IYb%f T G?`x$U U 8V]oR3' e@B+\1 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 7x,c)QES` Q $wa<` 建模任务 HW0EP J Y6J7N^ bu&x&
M* DBUhqRfl 由于组件倾斜引起的干涉条纹 ;a]Lxx;- lz=DP:/& )@%wj;>a F.nJXZnJ 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 ve#*qz Y oN0p$/La
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