摘要
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Acb %)Y 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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T=H QU@CPME /J&_ZDNV~ 建模任务
rX|{nb HB}iT1.` x0q`Uc 光栅特性与参数的严格分析
R!:F}* mFBuKp+0)h 不同光栅周期下的衍射效率
0}$R4<"{Y> :2;c@ uj XC,by&nY<y |<LW(,|A 关于光栅周期选择的考虑
z*/}rk4i F\+!\b*lP [}"m4+ 9:*a9xT, 偏振相关的衍射特性
K`kWfPwp i0[mU, FC8#XZp 5Yx
7Q:D -p20UP 1I %r:Uff@ 2L7ogyrU/A H`jvT] 通过参数优化进行光栅设计
=UZm4=T w?M` gl8r 固定周期的2D参数优化
u%nhQ% hKN/&P^ b|g=&T:pp 2D参数优化–设计1
j`k:) Y9nyKL TiSV`V q UphZRgT!N 2D参数优化–设计2
/SJI ~f+$ 5Fa/Q>N ~G8haN4 {o8K&XU#&t 制造
公差分析–设计2
UAtdRVi]M &=v5M9GR] o1rH@ D6/- nb U?:=P 变化光栅周期的3D参数优化
| <- t W^1)70<y ^ V8?6E 5`1p
? 制造公差分析
XM?C7/^k Xe<kdB3 )|L#i2?: Yq-7! 走进
VirtualLab Fusion
QPp>%iE@ 4Pr@<S"U $Q*^c"& >SHW VirtualLab Fusion中的工作流程
5@{~830 (Z at|R.F xU$15|ny j79$/ Ol
•构造光栅
结构 =-n7/ −通过使用界面来配置光栅结构
EL1*@ [用例]
'8UhYwyr •分析光栅衍射效率
bODyJ7=[ −光栅级次分析器[用例]
~DUOL~E •使用参数运行搜索初始解决方案
{$)pkhJ −参数运行文档的使用[用例]
Oftjm
X_ •通过参数优化找到最终设计
U7d05y' )r:gDd#/X VirtualLab Fusion技术
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