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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    技术专家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 !;Ke#E_d  
     HM#|&_gV  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 tns4e\  
     czsnPmNEI  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 P-DW@drxF  
     211V'|a_ >  
    所需工具箱子：光栅工具箱 '.jYu7   
     @)wsHW%cjz  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 P&yB(M-z  
     GE? \Vm  
    建模任务 #N;&^El  
    cgO<%_l3`  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 wB:<ICm  
    Ro;I%j  
    yq1 G6hw  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 13 %: 3W(  
     ErgWsAw-  
    p=\Q7<Z6d,  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 <+<Nsza  
     [,{Nu EI  
    >WLHw!I!6  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     y.-Kqa~  
    IyM:9=}5  
    !N!AO(Z  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 li{!Jp5]1b  
    'rq@9$h1W  
    x&r f]R  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 SE(c_ sX  
    SM1L^M3)  
    *!j!o%MB  
    X线偏振光模拟结果：
    ah,"c9YX  
    @( 0O9L F  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 ~=I:go  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 [KCR@__  
    Q3Y(K\  
    .gM6m8l9wp  
    Y线偏光模拟结果 R&$fWV;'  
    y.s\MWvv>u  
    GB;_!69I  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 5" (FilM  
    结论： }0f~hL24  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。     G:@1.H`  
     
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    离线二牛26
    实习生
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗？y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗？
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