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均匀化的概念 ]Y!x7 u@CQ+pnf:( VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： >F s/Wet • 微透镜阵列 [FLR&=.( • 衍射扩散器 2t
PfIg • 计算机生成的全息图 i s~2{: • 相位板 ncMz Hw • 单元阵列 @\o"zU
C511 hbF 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 8g
Z)c\
光学仿真和设计包括: ? ^W1WEBm • 衍射 Z&U:KrFH • 干涉 AV7#,+p%G • 空间和时间相干度 imeE& • 像差 *@ H\J e` • 偏振 }}i'8 • 光强 aU^6FI
Qd{8.lB~LQ 应用 _TGs .t
/R&h#;l 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： ] Yw$A • 信息显示 >7zC-3 • 测量系统 -*z7`]5J • 室内照明 t%%()!|)j • 汽车 @XXPJq;J • 军事 OF+4M q • 光刻 ~ > Q9
h<TZJCt 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 &lLfV a-l 优点Benefits 0%dOi
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`$ S&:Q, 微光学元件的照明系统有以下几大优点： >6HGh#0(p • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. 6(rN(C • 产生任意的二维图案. "ayV8{m^3 • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. N+@ Ff3M • 非常紧凑的照明系统. t>/ x-{bH\  brs`R#e \ 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
0o"aSCq8t
微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： KE@+I.x
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. N)G HQlgH
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. ao"2kqa)r
• 可以产生一般的二维图案. U/^#nU.,
• 单色光和白光的整形. rpK&OR/
 ; Byt'S
六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. tP7<WGHd/
衍射扩散器 PPr Pj^%z=
#Uu,yHMv:;
衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： L_RVHvA=M/
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. ,1#? 0q
• 生成任意的二维图案. T7.Iqw3p
• 仅用于单色LED或准分子激光. {0Y6jk> I
 Q_|}~4_+
4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 h_[{-WC
单元阵列 d#a/J.Z$A
d \l{tmte
光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： hdH z", )
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. q.`< q
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. ~TEn +
• 产生任意的二维图案. $R/@8qnP
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• 用于单色光和白光. |HD>m'e
 P:4"~ ]}
由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 5@m
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