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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 vhot-rBN  
                                             B jsF5~+\  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 \CDzVO0^  
    1Z| {3W  
    建模任务 R<AT}!mkR  
    u&\QZW?  
    系统构建块-扫描源                                                     (HD=m, }  
    @ - _lw  
    How to Set Up a Scanning Source _hbTxyj  
                                                                                   * M,'F^E2  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 DgB]y6~KXl  
    C0. bjFT|  
    系统构建块-参数耦合 QXg9ah~  
       *&A/0]w  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion 3Sclr/t  
                                                                                       0CFON2I  
    系统构建块-失真分析仪 7m +d;x2  
                                                                               }8,[B50  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 ~w9.}   
     i!k5P".o^  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               /ig'p53jL  
    \yNe5  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         N@>o:(08  
    w +~,Mv\  
    sn6:\X<[  
     ^KO=8m( )J  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: C. rLog#  
    =i:6&Y~VGq  
    Universal Detector O!=ae|  
                                                                                   ;4] sP^+  
    总结-组件… ~|t 7  
    NL76 jF  
     nm.~~h+8M  
    系统观感   3duWk sERC  
     c2iPm9"eh  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 4EtP|  
    d|?'yX  
     C% )Xz  
    性能评估-点位偏差 lmjoSINy  
    ]BiLLDz(  
                                       Zz@0Oj!`  
    性能评估-光斑直径测量                                                       8LZmr|/F*  
    0>KW94  
    "`'' eV3  
    q;{# ~<"+  
    tF@hH}{;  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 /y~ "n4CK~  
    1tMs\e-  
    VirtualLab Fusion技术 *#n?6KqZ  
             XKEd~2h<y  
     
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