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《Essential Macleod中文手册》 Vpnk>GWD f1_; da 目 录 Df4O~j$U"s kBR=a%kG ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 ['}|#3*w 第1章 介绍 ..........................................................1 <J;O$S 第2章 软件安装 ..................................................... 3 kT@ITA22 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 o&1mX 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 eVf D&&@ 第5章 软件结构 ............................................................... 21 , lR(5ZI 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 kS-BB[T 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 CqnHh@]nu 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 gFTU9k< 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 ]%6%rq%9C 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 )4ek!G]Rb 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 &gXL{cK'% 第12章 优化和综合 ..................................................................120 d%P2V>P 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 oWY3dc 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 #,#_" 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 %]LoR$|Y 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 |URfw5Hm 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 M
+OVqTsFU 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 /+92DV 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 7T)y"PZ 第20章 运行表单 .................................................................... 251 [}4zqY{ 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 &s`)_P[ 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 swj\X,{ 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 Dr.eos4 ~ 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 @o0HDS 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 uBww 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 Jq` Dvz 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 wMCMrv: 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 @:zC!dR)G 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 vb~%u;zrC@ *,X)tZ6VX E^rBs2;9 QwhO/ 0e8 _K9PA[m5~ 内容简介 Hi[lN7ma8 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 r!!uA1!7 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 IMD^(k 2 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 !b`fykC 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 DLbP$&o {1)b LG|$ 目录 js"Yh Preface 1 }`
3- 内容简介 2 8
siP 目录 i $HQ~I?r{Hf 1 引言 1 @-)S*+8 2 光学薄膜基础 2 EN`JzLjP 2.1 一般规则 2 \xS X'/G 2.2 正交入射规则 3 LBG`DYR@
2.3 斜入射规则 6 :/(G#ZaV 2.4 精确计算 7 7{U[cG+a# 2.5 相干性 8 ]CP5s5 2.6 参考文献 10 rrU(>jA! 3 Essential Macleod的快速预览 10 jW#dUKS( 4 Essential Macleod的特点 32 L?u{v X 4.1 容量和局限性 33 &k) +]r 4.2 程序在哪里? 33 Ia](CN*;6 4.3 数据文件 35 DH\Ox>b= 4.4 设计规则 35 ]rGd!"q 4.5 材料数据库和资料库 37 i-0
:Fs 4.5.1材料损失 38 Q%aF~ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 D?E
VzG 4.5.2 材料库 41 g[i;>XyP 4.5.3导出材料数据 43 T+XcEI6w 4.6 常用单位 43 1W*Qc_5 v1 4.7 插值和外推法 46 6T4"m 4.8 材料数据的平滑 50 JL_(%._J 4.9 更多光学常数模型 54 T|\sN*}\8J 4.10 文档的一般编辑规则 55 1N _"Mm{ 4.11 撤销和重做 56 d
>L8SL 4.12 设计文档 57 ,Z|O y|+' 4.10.1 公式 58 0*:n<T9 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 rs4:jS$) 4.10.3 沉积密度 59 fX9b1x 4.10.4 平行和楔形介质 60 >;G_o="X 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 wa[J\lW 4.10.4 性能 61 Onqapm0 4.10.5 保存设计和性能 64 <8%+-[(
4.10.6 默认设计 64 u^C\aujg 4.11 图表 64 L~+aD2E { 4.11.1 合并曲线图 67 %zc.b 4.11.2 自适应绘制 68 uu4!e{K 4.11.3 动态绘图 68 =:T"naY( 4.11.4 3D绘图 69 r8R7@S2V' 4.12 导入和导出 73 2FL_!;p;2E 4.12.1 剪贴板 73 br0\O 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 \l(}8;5} 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ++w{)Io Z 4.13 背景 77 bg3kGt0 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 0F!Uai1 4.15 生成Rugate 84 eiOAbO#U 4.16 参考文献 91 hDJ+Rk@ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ZyU/ .Uk 5.1 Jobs 92 fm^tU0DY 5.2 创建一个新Job(工作) 93 BB,-HhYT0 5.3 输入材料 94 1\-lAk!
5.4 设计数据文件夹 95 #@Tm5z 5.5 默认设计 95 t(,2x%{ 6 细化和合成 97 6EWCJ%_ 6.1 优化介绍 97 pOy(XUV9O 6.2 细化 (Refinement) 98 WVyq$p/V 6.3 合成 (Synthesis) 100 Q\~#cLJ/
6.4 目标和评价函数 101 4`CO>Q 6.4.1 目标输入 102 8/"uS ;yP 6.4.2 目标 103 *}r6V"pH~ 6.4.3 特殊的评价函数 104 y#ON=8l 6.5 层锁定和连接 104 50S*_4R 6.6 细化技术 104 ,=ju^_^sA 6.6.1 单纯形 105 6jal5<H 6.6.1.1 单纯形参数 106 |c]L]PU 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 `EP-Qlm 6.6.2.1 Optimac参数 108 A?ESjMy(R 6.6.3 模拟退火算法 109 1{xkAy0 6.6.3.1 模拟退火参数 109 &@&^k$du8q 6.6.4 共轭梯度 111 GO#eI]>/r 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 wGz_IL.D 6.6.5 拟牛顿法 112 mh_GYzd 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 Y^?PHz'Go 6.6.6 针合成 113 3z
5"Ckzb 6.6.6.1 针合成参数 114 |[bQJ<v6 6.6.7 差分进化 114 Q|Pm8{8 6.6.8非局部细化 115 HBa6Y&)< 6.6.8.1非局部细化参数 115 MIv,$ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 J:;nN-\j 6.7.1 细化 116 xl,?Hh%# 6.7.2 合成 117 vnsMh
6.8 参考文献 117 zy9W{{:P(1 7 导纳图及其他工具 118 ^\PNjj*C i 7.1 简介 118 Sj'.)nz> 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 OdJ=4 x> 7.2.1 四分之一波长规则 119 KU0;}GSNX} 7.2.2 导纳图 120 b@1";+(27 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 P$A'WEO' 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 0[OlJMVf 7.5 斜入射导纳图 141 6<Zk%[7t 7.6 对称周期 141 wMiRN2\^ 7.7 参考文献 142 "8yDqm 8 典型的镀膜实例 143 52Q~` t7F 8.1 单层抗反射薄膜 145 s[/)v: 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 %aJ8wYj*
8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 |fWR[\NU 8.4 W-膜层 148 EO.}{1m=hx 8.5 V-膜层 149 W QyMM@# 8.6 V-膜层高折射基底 150 `X wKCI 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 fPsUIlI/A 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 cA
B^]j 8.9 四层抗反射薄膜 153
-+.-Ab7 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 Yh;A 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 o,y{fv:ki 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 |Q~5TL>b 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 T`^LWc" 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 UXV>#U? 8.15十五层宽带抗反射膜 159 Z|Xv_Xo|4 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
AQz&u 8.17 1/4波长堆栈 162 A&;Pt/#' 8.18 陷波滤波器 163 <3aW3i/jTc 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 gNo}\
lm4V 8.20 褶皱 165 Xc@%_6 8.21 消偏振分光器1 169 x\XOtjJr 8.22 消偏振分光器2 171 '4d+!%2t 8.23 消偏振立体分光器 172 'WQ<|(:{ 8.24 消偏振截止滤光片 173 u&>o1!c*P 8.25 立体偏振分束器1 174 ^r<bi%@C$ 8.26 立方偏振分束器2 177 `" E | 8.27 相位延迟器 178 f&S,l3H< 8.28 红外截止器 179 P2`!)teN 8.29 21层长波带通滤波器 180 VlVd"jW 8.30 49层长波带通滤波器 181 dB`YvKr# 8.31 55层短波带通滤波器 182 "yI)F~A 8.32 47 红外截止器 183 .TURS 8.33 宽带通滤波器 184 @])qw_ 8.34 诱导透射滤波器 186 *HwTq[y 8.35 诱导透射滤波器2 188 ;q&>cnLDR 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 *p.P/w@1 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 hNV"{V3`{ 8.35 增益平坦滤波器 193 j!;?=s 8.38 啁啾反射镜 1 196 .s_wP 8.39 啁啾反射镜2 198 H!ZPP8]j> 8.40 啁啾反射镜3 199 ?hS n) 8.41 带保护层的铝膜层 200 !5}Ibb 8.42 增加铝反射率膜 201 g|PVOY+|^ 8.43 参考文献 202 7K`A2 9 多层膜 204 3`&2- 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 7 3k3(rZ 9.2 内部透过率 204 _AQ :<0/# 9.3 内部透射率数据 205 l|fOi A*K 9.4 实例 206 +[JGi"ca 9.5 实例2 210 6M"]p 9.6 圆锥和带宽计算 212 {O6f1LuH 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 :Q\b$=,: 10 光学薄膜的颜色 216 w $7*za2 10.1 导言 216 4b8!LzKS 10.2 色彩 216 B_[^<2_ 10.3 主波长和纯度 220 m?_S&/+* 10.4 色相和纯度 221 Gt[!q\^? 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 f4zd(J 10.6 色差 226 & h9ji[ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 DY6wp@A 10.8 颜色渲染指数 234 Od'!v & 10.9 色差计算 235 0 )#5_-% 10.10 参考文献 236 /r|^Dc Nx 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ]7ROCJ; 11.1 短脉冲 238 :JSOj@s 11.2 群速度 239 _EOQ*K#=Ct 11.3 群速度色散 241 DL2gui3 11.4 啁啾(chirped) 245 2-u>=r0L 11.5 光学薄膜—相变 245 5-}4jwk 11.6 群延迟和延迟色散 246 E'e#axF; 11.7 色度色散 246 ^zQ;8)ng 11.8 色散补偿 249 v[ru }/4 11.9 空间光线偏移 256 TE0hVw0c 11.10 参考文献 258 z48,{H6h 12 公差与误差 260
Xi5ZQo!t 12.1 蒙特卡罗模型 260 lC.Yu$O5 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 L^)&"6oSa 12.2.1 误差工具 267 HW{osav9 12.2.2 灵敏度工具 271 iy8UrgG;l 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ;*+jCL2F 12.2.2.2 灵敏度分布 275 {y'c*NS 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 b IcLMG
s 12.3 参考文献 276 u|=_!$8 13 Runsheet 与Simulator 277 Q5iuK#/ 13.1 原理介绍 277 2<yE3:VX 13.2 截止滤光片设计 277 VVvV]rU~ 14 光学常数提取 289 w@4q D 14.1 介绍 289 &D
uvy#J 14.2 电介质薄膜 289 \no[>L] 14.3 n 和k 的提取工具 295 x+"~-KO8q$ 14.4 基底的参数提取 302 $r9Sn 14.5 金属的参数提取 306 +is;$1rq 14.6 不正确的模型 306 5FnWlFc 14.7 参考文献 311 ) ]U-7 15 反演工程 313 X<_(gg 15.1 随机性和系统性 313 bQb>S<PT 15.2 常见的系统性问题 314 d$kGYMT" 15.3 单层膜 314 {Os$Uui37\ 15.4 多层膜 314 $)mE"4FE 15.5 含义 319 mTW0_!. 15.6 反演工程实例 319 BM1uZJ0 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 Sq}hx 15.6.2 反演工程提取折射率 327 v'S}&zmF] 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 xRJv_=dT 16.1 光学性质的热致偏移 329 wnP#.[,V 16.2 应力工具 335 93[c^sc9*a 16.3 均匀性误差 339 '
V;cA$ $ 16.3.1 圆锥工具 339 fC2e}WR 16.3.2 波前问题 341 ^:\|6`{n 16.4 参考文献 343 KDuM; 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 "Nn/vid; 17.1 引言 345 [(w_!|S 17.2 操作数 345 GNqw]@'Yf 18 如何在Function中编写脚本 351 fEWS3`Yy 18.1 简介 351 4_8%ZaQ\.? 18.2 什么是脚本? 351 ITRv^IlF 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 {$ HW_\w 18.4 基础 352 9PVM06
18.4.1 Classes(类别) 352 ,Zb]3 18.4.2 对象 352 $VhUZGuG> 18.4.3 信息(Messages) 352 ,-&ler~[ 18.4.4 属性 352 @/ wJW``; 18.4.5 方法 353 eRD?O 18.4.6 变量声明 353 Z[yQKy 18.5 创建对象 354 "6lf~%R" 18.5.1 创建对象函数 355 q[nX<tO 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 kz(%8qi8& 18.5.3 丢弃对象 356 d3+pS\&IX? 18.5.4 总结 356 ~C{d2i 18.6 脚本中的表格 357 Lf&p2p?~c 18.6.1 方法1 357 uR|Jn)/m( 18.6.2 方法2 357 -wy$ ?Ha 18.7 2D Plots in Scripts 358 m\__Fl 18.8 3D Plots in Scripts 359 .ZFs+8qU> 18.9 注释 360 gdRwh 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 } '. l'% 18.11 一个更高级的脚本 362 =4"D8UaHr 18.12 <esc>键 364 @|6n.'f+ 18.13 包含文件 365 KTD# a1W 18.14 脚本被优化调用 366 M])Y|}wv8 18.15 脚本中的对话框 368 ec[S?- 18.15.1 介绍 368 r+217fS> 18.15.2 消息框-MsgBox 368 suN{)" 18.15.3 输入框函数 370 KtU I(*$` 18.15.4 自定义对话框 371 ^1BQejD 18.15.5 对话框编辑器 371 ``)ys^V 18.15.6 控制对话框 377 G,e>dp_cPu 18.15.7 更高级的对话框 380
xN:ih*+,v 18.16 Types语句 384 ns9iTU) 18.17 打开文件 385 r
ioNP( 18.18 Bags 387 DF-`nD 18.13 进一步研究 388 OWxYV$ 19 vStack 389 z/)HJo2# 19.1 vStack基本原理 389 "GEJ9_a[ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 U,yU-8z/ 19.3 五棱镜 393 y~w2^VN= 19.4 光束距离 396 ZMy0iQ@ 19.5 误差 399 bX:Y5o49
19.6 二向分色棱镜 399 3*"$E_% 19.7 偏振泄漏 404 ,`v)nwP 19.8 波前误差—相位 405 ,o& &d |