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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 AhWcJD]  
    !W^P|:Qt  
    任务/系统说明 [`2V!rU  
    wO.T"x%X  
    B OKY X  
    clyZD`*  
    亮点 N3"O#C  
    9(eTCe-~6  
     }6b" JoC  
    *5m4 j=-  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） bS7%%8C  
     严格分析光栅衍射效率 (J} tCqP  
     考虑入射光的方向分布 F}MjZZj(U=  
    ^Q,-4\ec  
    说明：光源 #:[^T,YD0  
    m9Xauk$(  
    `cgyiJ  
    (}*1,N!#  
    说明：光束分束器 4f SG c8  
    Zmx[:-  
    (_IPz)F  
    U'*~Ju  
    说明：检测透镜系统 q[}W&t,  
    {?X:?M_  
    tqk^)c4FF(  
    Ndmki 7A  
    说明：微型晶片 rUn1*KWbE  
    erlg\-H   
    o3C GG  
    Tji*\<?  
    说明：检测物镜 SR>(GQ,m0;  
    *{x8@|K8  
    zt!)7HBo  
    4p<c|(f#  
    说明：探测器 Bi-x gq'z  
    @PzRHnT*  
    5J~@jPU  
    %_ (Xn  
    结果：3D光线追迹（只有0级） {c}n."`  
    PjE%_M<  
    *)bh6b=7  
    ?+_Y!*J2b  
    结果：3D光线追迹（所有级） thLx!t  
    >1BDt:G36  
    fD<0V  
    VV-%AS6;  
    结果：光线追迹 \ v2-}jU(  
    NjFlV(XT}  
     @+>t]jyz  
    ?Gx-q+H  
    结果：场追迹 *JArR1J  
    kF-7OX0)  
     O^Y@&S RrQ  
    n #PXMD*  
    结果：线性偏振光的场追迹 ^XT;n  
    T s9go  
    K!a7Hg  
     
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