对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
Pt"K+]Ym ^wy 
. X!!dx1< )G48,.
" 建模任务 Yc#Uu8f -
;lmg0dtJ
Fo3*PcUv U5"u
h} 3 1阶的参数优化 )"TVR{I%B
=z}PR1X!
H&s`Xr
&g?GF\Y 结果-容差分析 uzp\V
39
hWly8B[I
SS/vw% RLf-Rdx/ 结果-容差分析 (aYu[ML
xOkdu k]
$#V' m{Hh 0Y oKSo 在VirtualLab Fusion中查看 \ ]>821r Mmz;
uy_ 
*k(Fb Z #ed|0 VirtualLab Fusion的工作流程 k _t|)
J C).\ J ! •构造光栅结构
[Fh YQI .]>Tj^ 1 kw59`z Es •分析光栅衍射效率
}hy4EJ - 光栅级次分析器[用例]
|-JG _i •使用参数优化优化光栅参数
7c_2.T@4 •使用参数运行进行容差分析
|0Z J[[2 r
(m3"Xu6O XU7to]'K 
q&=z^Ln!G \zU<o~gs VirtualLab Fusion技术 {)Wf[2zJ
!$98 U~L
sd4eG
