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L?c7M}vV 内容简介 yIdM2#`u Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 p&%M=SzN 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 j4B|ktf 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 0Tm"Zh?B| u*NU MT2 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 pWwB<F 目录 ~!w()v n Preface 1 0bQm:J[(# 内容简介 2 dU~DlaEy( 目录 i ]k(n_+! 1 引言 1 A%G
\
AT 2 光学薄膜基础 2 *\i<+~I@l 2.1 一般规则 2 #!%\97ZR 2.2 正交入射规则 3 /{~cUB,Um 2.3 斜入射规则 6 \5wC&|WEB 2.4 精确计算 7 ;-koMD!2F 2.5 相干性 8 mne=9/sE" 2.6 参考文献 10 2_4m}T3 3 Essential Macleod的快速预览 10 cQaEh1n 4 Essential Macleod的特点 32 DfCo= 4.1 容量和局限性 33 sH>Z{xjr 4.2 程序在哪里? 33 H...!c1M@ 4.3 数据文件 35 +=y ktf 4.4 设计规则 35 G([!(8&2Y 4.5 材料数据库和资料库 37 *WQ}ucE^# 4.5.1材料损失 38 *1L;%u| [ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 om"q[Tudc 4.5.2 材料库 41 I<I?ks 4.5.3导出材料数据 43 q?=eD^] 4.6 常用单位 43 b (,X3x* 4.7 插值和外推法 46 Z81{v<c; 4.8 材料数据的平滑 50 AID}NQQj_ 4.9 更多光学常数模型 54 H:ar&o#( 4.10 文档的一般编辑规则 55 J!QzF)$4J 4.11 撤销和重做 56 E6-alBi% 4.12 设计文档 57 z90=,wd 4.10.1 公式 58 I499Rrw#E 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 1f 0"z1 4.10.3 沉积密度 59 VxOrrs7Z 4.10.4 平行和楔形介质 60 T~k5` ~\( 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 7^bO` 4.10.4 性能 61 Sdc;jK 9d! 4.10.5 保存设计和性能 64 4=H/-v'& 4.10.6 默认设计 64 .&ynS 4.11 图表 64 -4JdKO 4.11.1 合并曲线图 67 =sP6 4.11.2 自适应绘制 68 LDL#*g 4.11.3 动态绘图 68 ba?]eK 4.11.4 3D绘图 69 m6bI<C3^5 4.12 导入和导出 73 W39R)sra 4.12.1 剪贴板 73 #]ii/Et#x 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 c FjC 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 877>=Tp| 4.13 背景 77 .Lrdw3( 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 uBk$zs 4.15 生成Rugate 84 Dg_/Iu>OAE 4.16 参考文献 91 A"V3g`dP 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 DVYY1!j< 5.1 Jobs 92 'M\ou}P 5.2 创建一个新Job(工作) 93 .E_`*[ 5= 5.3 输入材料 94 39JLi~j, 5.4 设计数据文件夹 95 )gNHD?4x 5.5 默认设计 95 '3wte9E/ 6 细化和合成 97
3\FiQ/? 6.1 优化介绍 97 ?-O(EY1E 6.2 细化 (Refinement) 98 ZYBNS~Q 6.3 合成 (Synthesis) 100 kImGSIJ 6.4 目标和评价函数 101 t=~5I> 6.4.1 目标输入 102 (jCE&'?} 6.4.2 目标 103 M`umfw T 6.4.3 特殊的评价函数 104 o([+Pp 6.5 层锁定和连接 104 ~K^Z4 6.6 细化技术 104 <;x+?j 6.6.1 单纯形 105 SSi}1 6.6.1.1 单纯形参数 106 +v&+8S`+ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 MQ"<r,o?: 6.6.2.1 Optimac参数 108 "P< drz< 6.6.3 模拟退火算法 109 &%J{C3Q9 6.6.3.1 模拟退火参数 109 _'Q}Y nEv 6.6.4 共轭梯度 111 c*!bT$]~\ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 Yc#o GCt 6.6.5 拟牛顿法 112 PG)dIec 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 9F kwtF 6.6.6 针合成 113 D6_16PJE 6.6.6.1 针合成参数 114 vVKiE 6^ 6.6.7 差分进化 114 SR~~rD|V 6.6.8非局部细化 115 wmY6&^?uS 6.6.8.1非局部细化参数 115 yA(H=L-=!1 6.7 我应该使用哪种技术? 116 T:wd3^.CG 6.7.1 细化 116 9n!3yZVSe 6.7.2 合成 117 VX&KGG.6 6.8 参考文献 117 *8"5mC;" 7 导纳图及其他工具 118 <H)h+?&~d 7.1 简介 118 $K\\8$Z 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 Qd]-i3^0 7.2.1 四分之一波长规则 119 `
M"Zq 7.2.2 导纳图 120 t ba%L 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 uxVXnQQ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 o?^j1\^ 7.5 斜入射导纳图 141 )y.J2_lI8 7.6 对称周期 141 rtf>\j+ 7.7 参考文献 142 @<},- u 8 典型的镀膜实例 143 1NN99^q 8.1 单层抗反射薄膜 145 ^5u} 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 H*yX
Iq: 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 j4H,*fc 8.4 W-膜层 148 8!me$k& 8.5 V-膜层 149 sP5PYNspA 8.6 V-膜层高折射基底 150 }RDhI1x[mk 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 b)$<aFl 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 2={`g/WeE 8.9 四层抗反射薄膜 153 #i.M-6SRd 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 <8r%_ '] 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 wp.<}=|u 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ,+,""t 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 #12PO q 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 +n^$4f 8.15十五层宽带抗反射膜 159 Lc+wS@ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 K!HSQ,AC 8.17 1/4波长堆栈 162 +Medu?K
` 8.18 陷波滤波器 163 G+^HZ4jg 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 bPOehvK/ 8.20 褶皱 165 WK/Byd.Z 8.21 消偏振分光器1 169 sqJ?dIBH 8.22 消偏振分光器2 171 }#'O b 8.23 消偏振立体分光器 172 e}kEh+4 8.24 消偏振截止滤光片 173 IR(JBB|xNQ 8.25 立体偏振分束器1 174 "J%u
!~ 8.26 立方偏振分束器2 177 `EBo(^n}O 8.27 相位延迟器 178 Po(9BRd7 8.28 红外截止器 179 J'b*^K 8.29 21层长波带通滤波器 180 W84JB3p 8.30 49层长波带通滤波器 181 [=7|LHjU 8.31 55层短波带通滤波器 182 "ln(EvW 8.32 47 红外截止器 183 ^l7u^j 8.33 宽带通滤波器 184 ArbfA~jXB 8.34 诱导透射滤波器 186 f77Jn^Dt 8.35 诱导透射滤波器2 188 B Lw ssr. 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 )g9Zw_3 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 D$I7Gz,w{ 8.35 增益平坦滤波器 193 m+"?;;s 8.38 啁啾反射镜 1 196 d*3k]Ie%5f 8.39 啁啾反射镜2 198 u
z4P 8.40 啁啾反射镜3 199 #l+U(zH:JG 8.41 带保护层的铝膜层 200
"^Tb8! 8.42 增加铝反射率膜 201 P<
O [S 8.43 参考文献 202 iZwt,)( 9 多层膜 204 EUu"H` E+ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 arrNx|y 9.2 内部透过率 204 a~9U{)@F 9.3 内部透射率数据 205 3!,XR\`[ 9.4 实例 206 yO]Vex5) 9.5 实例2 210 %'%ej^s-R 9.6 圆锥和带宽计算 212 go@UE2qw 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 5|9,S 10 光学薄膜的颜色 216 xCEEv5(5 10.1 导言 216 >ys>Q) 10.2 色彩 216 pD eqBO 10.3 主波长和纯度 220 `QnKal ) 10.4 色相和纯度 221 O3j:Y|N@F 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 C*,-lk0b@ 10.6 色差 226 |K,9EM3 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 vjhd| 10.8 颜色渲染指数 234 Gvb>M=9 10.9 色差计算 235 k>FMy#N|@ 10.10 参考文献 236 kBS;SDl) 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 x$[<<@F% 11.1 短脉冲 238 #Ne<=ayS 11.2 群速度 239 2+s_*zM- 11.3 群速度色散 241 N)RyRR.x1. 11.4 啁啾(chirped) 245 `kpX}cKK} 11.5 光学薄膜—相变 245 "
2Dz5L1v 11.6 群延迟和延迟色散 246 q?nXhUD 11.7 色度色散 246 `|XE B 11.8 色散补偿 249 _*>bf G 11.9 空间光线偏移 256 {Uz@`QO3 11.10 参考文献 258 ^&03D5@LoY 12 公差与误差 260 N /p9Ws 12.1 蒙特卡罗模型 260 Vl%AN;o 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 m$ )yd~ 12.2.1 误差工具 267 d(3F:dbk 12.2.2 灵敏度工具 271 `TYQ^Zm 12.2.2.1 独立灵敏度 271 wc*5s7_ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 rjo/-910 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ms{:=L2$$ 12.3 参考文献 276 L'BDS* 13 Runsheet 与Simulator 277 yM}}mypS 13.1 原理介绍 277 GbFLu`I u 13.2 截止滤光片设计 277 W2D^%;mw 14 光学常数提取 289 +iz5%Qe<f 14.1 介绍 289 gPSUxE`O. 14.2 电介质薄膜 289 ?l!L
)!2 14.3 n 和k 的提取工具 295 y>Zvos e 14.4 基底的参数提取 302 s:'M[xI 14.5 金属的参数提取 306 Sf);j0G,D 14.6 不正确的模型 306 F[<EXLQ 14.7 参考文献 311 6vbWe@#U/ 15 反演工程 313 0 #pjfc `: 15.1 随机性和系统性 313 L$=@j_V2 15.2 常见的系统性问题 314 M#LQz~E 15.3 单层膜 314 R7;SZo 15.4 多层膜 314 nd3=\.(P 15.5 含义 319 {hG r`Rh 15.6 反演工程实例 319 C)~YWx@v 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 "nP mQ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 *:J#[ET, 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 @kvgq 0ab 16.1 光学性质的热致偏移 329 dB+x,+%u+ 16.2 应力工具 335 kMWu%,s4 16.3 均匀性误差 339 8
!Pk1P 16.3.1 圆锥工具 339 q>/#
P5V 16.3.2 波前问题 341 2.ud P 16.4 参考文献 343 t
j&+HC 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 !sQ$a#Ea 17.1 引言 345 ^h{AAS> 17.2 操作数 345 7F;"=DarOE 18 如何在Function中编写脚本 351 r=Z#"68$ 18.1 简介 351 gP"p7\
( 18.2 什么是脚本? 351 jCDZ$W89 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 hLPg=8nJ_ 18.4 基础 352 \kqa4{7 U( 18.4.1 Classes(类别) 352
@[u! 18.4.2 对象 352 et(/` 18.4.3 信息(Messages) 352 8>S"aHt 7 18.4.4 属性 352 nr*~R-,\ 18.4.5 方法 353 ] as_7 18.4.6 变量声明 353 E/|]xKG 18.5 创建对象 354 Zx,R6@l 18.5.1 创建对象函数 355 G;_QE<V~_ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 xx0s`5 18.5.3 丢弃对象 356 4 d4le 18.5.4 总结 356 Rn~FCj,- 18.6 脚本中的表格 357 Qmle0ae 18.6.1 方法1 357 |7n&I`# 18.6.2 方法2 357 i/9QOw~ 18.7 2D Plots in Scripts 358 M[ $(Pu 18.8 3D Plots in Scripts 359 'c<vj
jIg 18.9 注释 360 Nr=ud QA{ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 6kuN) 18.11 一个更高级的脚本 362 Y^m2ealC 18.12 <esc>键 364 jXvGL 18.13 包含文件 365 Y$b4Ga9j 18.14 脚本被优化调用 366 6NH.!}"G9 18.15 脚本中的对话框 368 lS]<~ 18.15.1 介绍 368 OLUQjvnU 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ?z% @;& 18.15.3 输入框函数 370 *T"JO| 18.15.4 自定义对话框 371 ?Y+xuY/t 18.15.5 对话框编辑器 371 Yq}7x1mm 18.15.6 控制对话框 377 Tl5K'3 18.15.7 更高级的对话框 380 z!;n\CV @ 18.16 Types语句 384 *')BP;|V` 18.17 打开文件 385 h^^zR)EVb 18.18 Bags 387 v39`ct= e 18.13 进一步研究 388 jIJVl \i] 19 vStack 389 r7Bv?M^! 19.1 vStack基本原理 389 9;2PoW8 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 qH!}oPeU' 19.3 五棱镜 393 tW 53&q\= 19.4 光束距离 396 3{RuR+yi 19.5 误差 399 "}Kvx{L8 19.6 二向分色棱镜 399 A`<#}~A 19.7 偏振泄漏 404 }uo5rB5D 19.8 波前误差—相位 405 1}#v<b$ 19.9 其它计算参数 405 I Gv_s+O-* 20 报表生成器 406 <h|XB}s+ 20.1 入门 406 Q:eIq<erY 20.2 指令(Instructions) 406 H`q" _p: 20.3 页面布局指令 406 i3t=4[~oL 20.4 常见的参数图和三维图 407 8^M5k%P 20.5 表格中的常见参数 408 $'e;ScH 20.6 迭代指令 408 } Uki)3( 20.7 报表模版 408 r9z_8#cR 20.8 开始设计一个报表模版 409 'ah|cMRn 21 一个新的project 413 0fA42*s; 21.1 创建一个新Job 414 SY|r'8Z%Q 21.2 默认设计 415 pxjN\q 21.3 薄膜设计 416 +Q_(wR"FS 21.4 误差的灵敏度计算 420 6l&m+!i 21.5 显色指数计算 422 :khl}| 21.6 电场分布 424 fgg^B[(Y 后记 426 <_@ K4zV 有兴趣可以和我联系 g0Qg]F5D~ (q`Jef
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