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    [技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-30
    对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 LB`{35b-  
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    VirtualLab Fusion一瞥 a~ dgf:e`  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 ~6IY4']m*  
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    构建光栅结构 "blq)qo)  
    −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] c g)> A  
    −倾斜光栅高级设定[用例] Q-rG~O9-  
    •光栅衍射效率分析 ,J,Rup">h  
    −光栅阶序分析器[用例] =fJU+N+<  
    •使用参数优化进行光栅参数优化 )[oP `Z  
    •使用参数运行的容差分析     * V7mM?  
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    VirtualLab Fusion技术 Y[]I!Bc  
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