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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 j2n 4; m  
    ]ddL'>$c$  
    @XKVdtG  
     ;b, bHL  
    建模任务 AIA4c"w.EO  
    pSpxd |k  
    5Ak>/QF9  
    概述 &23t/`   
    O0mQHpi:  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 OnE~0+  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 y#lg)nB  
    cn_*,\}  
     FvBnmYn W  
    GsE =5A8  
    光线追迹仿真 v(jZ[{x@  
    L7.LFWq$S  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 <L3ig%#B  
    •单击go！ TiI3<.a!  
    •获得了3D光线追迹结果。 ob(~4H-  
    3HX-lg`0  
     #~qY%X  
    2|8$@*-\  
    光线追迹仿真 :HN\A4=kc(  
    ~T'$gl  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 uF-Rl## >  
    •单击go！ xEe3,tb'e  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 "I[u D)$  
    V"sm+0J  
     7!8R)m^1[  
    ew8Manx  
    场追迹仿真 +r__>V,  
    RsP^T:M}$  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Q .cL1uHc  
    •单击go！ _,|N`BBqd  
    Cqw`K P  
    st(Y{Gs  
     M4}zRr([.5  
    场追迹仿真（相机探测器） K6oQx)|  
    aw'o=/a8  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 xo(3<1mD  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 xy<)zKp  
    Jd/XEs?<q  
     ~2U5Wt  
    ltG|#(  
    场追迹仿真（电磁场探测器） g6<D 1r  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 @>hXh +!2h  
    nA XWbavY  
    P;l D ri  
     =:v5` :  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 1cPjgBxv#  
     $T}Dn[.  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 w,zgYX&  
    >W@3_{0  
     L@LT*M  
    e5.sqft  
     
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