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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 jU{~3Gn? CE4Kc33OU|
S O`b+B 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) |QyZ:`0u *"V) hI5 建模任务 ,y)V5
c1 .07kG] +^$E)Ol cU "uKR 单次FMM仿真结果 TOx@Y$_9Q8 bW GMgC =>e>
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