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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 2fM*6CaS  
    I&^ B?"Y  
    8Ux3,X=  
     O>9+ tQ  
    建模任务 e~w-v"'  
    p0U4#dD6  
    NI_.wB{  
    概述 o{5es  
    ^iAOz-H  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 6K501!70g6  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 8R<2I1xn2  
    't'~p#$,F  
     V+myGsr`  
    Q^}6GS$  
    光线追迹仿真 xp<\7m_N  
    7~n<%q/6  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 FMMQO,BU  
    •单击go！ w7aC=B/{?i  
    •获得了3D光线追迹结果。 SC/|o  
    y ,e# e`  
     N) D;)ZH  
    |zhVl  
    光线追迹仿真 w9h`8pt  
    `IL''eJug_  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 :%-xiv  
    •单击go！  ,U':=8  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 WfYu-TK *  
    X/Umfci  
     y^pzqv  
    |t](4  
    场追迹仿真 g*t(%;_m  
    zSt6q  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 $*a'[Qot#  
    •单击go！ +72[*_ <  
    &cy @Be}|T  
    |]FJfMX  
     4mNg(w=NF  
    场追迹仿真（相机探测器） sswYwU  
    )1f8 H,q^  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 eaSf[!24"  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 4E\Jk5co,  
    {Yp>h5nwM_  
     )"SP >2}  
    B"sQ\gb%Q  
    场追迹仿真（电磁场探测器） L9L!V"So1k  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 }s i{  
    ^0" W/  
    ';<gc5EK  
     ipy1tXc  
    场追迹仿真（电磁场探测器） \Eqxmo  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 'Bul_D4B  
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     N pu#.)G  
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