切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 光学手册（上、下册，李景镇） 近代光学系统设计概论 Zemax光学设计从入门到精通(中文版) 现代光学基础（第2版 钟锡华）
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 669阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    在线infotek
    技术专家
     
    发帖
    4619
    光币
    17475
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 `9Q O'^)  
    >!% +)  
     VIuzBmR|\  
    wPr!.:MF  
    建模任务 Og2G0sWRf  
    =A<a9@N}N  
     fPab%>/T{  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 1!A 'mkk8  
     f# sDG  
    某一位置的Talbot图样 0134mw%jk  
    /8LTM|(  
     @}hdMVi  
       WJii0+8e  
    某一位置的Talbot图样 ]".SW5b_  
    1a'0cSH  
     K#[ z5  
    c<5(c%a  
    不同位置的Talbot图样 M`,`2I A  
    kNv/L $oG  
     (XQ:f|(  
    >?r8D48`  
    不同位置的Talbot图样 T49^  
    &'W ~~ir  
     ; e)vk|  
    ilkN3J  
    沿Z轴的强度 P@8S|#LpZ  
    ;f9a0Vs  
     AO]1`b:  
    m&+V@H  
    走进VirtualLab Fusion #NQx(C  
    '%KaAi$  
     R;H>#caJ  
    W|V9:A  
    VirtualLab Fusion的工作流程 $DhW=(YM_a  
    "T' QbK0  
     构建光栅结构 ]ujXPK=t  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] JjnWv7W3$  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] a5uBQ?  
    SVqKG+{My  
     通过参数运行计算不同位置的强度 <L:}u!  
    - 参数运行文件的使用 [用例] eRB K= X  
    K# BZ Jcb  
    jDCf]NvOPM  
    zC>zkFT>H  
    VirtualLab Fusion技术 ?5rM'O2  
    r<EwtO+x  
     d%Nx/DS)  
       8eD/9PD=F  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表