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在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 4_U"M@ !3Pmjip ?{^_z_, 9*ZlNZ
建模任务 9,`i[Dzp C)EP;5k'!\ ~i>DF`w$ 结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) UgS`{&b36 o9"?z 某一位置的Talbot图样 -kMw[Y >WDHRC B#jnM~fJz uMZ~[Sz 某一位置的Talbot图样 7KhS{w6 #5)/B eDZ8F^0 nf 8V:y4 不同位置的Talbot图样 8TeOh1\ .
c+m(Pk |zpy!X 3 k!0O[U 不同位置的Talbot图样 ;6[6~L%K} j0; ~2W#G* 4i)5=H s~A-qG> 沿Z轴的强度 l X+~; 94 m]>zdP+ ya8p
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