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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 R BHDfm'~7 ;Yee0O!d4 k5Cy/gR 5VTVx1P[8 建模任务 LsWD^JE. W9%v#;2 ^\ x'4!W 仿真干涉条纹 `#ruZM066 tC'E#2 S<i1t[E@W 走进VirtualLab Fusion uM`i!7} wI|h9q1U t<` As6} (SRY(q VirtualLab Fusion中的工作流程 _s5^\~ao |iHMAo •设置输入场 Xb%Q%"?~ −基本光源模型[教程视频] %cSx`^`6j •使用导入的数据自定义表面轮廓 y{@\8B] •定义元件的位置和方向 ^ 0YQlT98 − LPD II:位置和方向[教程视频] M)oKtiav* •正确设置通道以进行非序列追迹 lZ-U/$od −非序列追迹的通道设置[用例] h_(M#gG •使用参数运行检查影响/变化 B%6cgm, −参数运行文档的使用[用例] $,~Ily7w G*N[t w b~vV++ou_ _A C N VirtualLab Fusion技术 .3C::~: 4tCM2it%
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