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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 Mm(#N/  
    3h:y[Vm#9y  
    k|\M(Z*(P  
    J{.UUw9Agd  
    亮点 [8^q3o7n  
    GGhk~H4OP  
    NPS*0y/  
    hxK;f  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) fBctG~CJH  
     严格分析光栅衍射效率 bc4V&  
     考虑入射光的方向分布 KbtV>  
    W7 dSx  
    说明:光源 \Dy|}LE  
    PkI+z_  
    ];4!0\M  
    FOk;=+  
    说明:光束分束器 as!a!1  
    w3ni@'X8  
    Z#L4n#TT  
    W.?/p~  
    说明:检测透镜系统 Z i.' V  
    g+4y^x(X@1  
    9i}$245lB  
    Pv/ v=s>X  
    说明:微型晶片 bY=[ USgps  
    3,Yr%`/5'  
    8"9&x} tl-  
    cl2_"O  
    说明:检测物镜 8>,w8(Nt  
    5N;'CAk  
    w|-3X  
    &.\7='$F  
    说明:探测器 +IWH7qRtp  
    ;//9,x9;t  
    ]FZPgO'G  
    e5>'H!)  
    结果:3D光线追迹(只有0级) MCmb/.&wu  
    !43 !JfD  
    %g}d}5s  
    ,M;9|kE*  
    结果:3D光线追迹(所有级) uW(-?  
    !T][c~l  
    ^0}ma*gi~  
    +h4W<YnW  
    结果:光线追迹 z6C(?R  
    =+Fb\HvX{  
    p@su:B2Rl  
    pWGR #x'  
    结果:场追迹 Z|uvrFa  
    :xPo*#[Z(A  
    0_gN]>,9n  
    () _RLA  
    结果:线性偏振光的场追迹 &Mk!qE<:N  
    ],pB:=  
    05 q760I+  
     
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