摘要
yXg #<H6V U-uBz4Gha R $vo TL%2?'G 由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的
光栅设计来说,面对光栅
参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。
VirtualLab Fusion为
光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入
优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一
系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价
函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。
DEmU},<S 2<18j 仿真任务
`/WX!4eR, NWK+.{s>m Q};g~b3 !3Xu#^Xxj 连接建模技术:倾斜光栅
JA .J~3 sj@B0R=Qo
3vs;ZBM p-p]dV 可用的微
结构建模技术:
#=>t6B4af |VlQ0{
<+0TN]? ;xp^FKP 光栅阶数分析仪
xp+Z%0D Q?e]N I^
Iu<RwB[#Q %<4ZU!2L 参数变化分析仪
)vO?d~x| _*(n2'2B u ##.t b:OQ/ 参数优化
Ne6]?\Z FH"u9ygF OQ,KQ\ l$j/Ye] 优化结果-平均效率
{+n0t1 W<W5ih,# XeGtge/}T h]|E,!H 优化结果-对比度
y$JM=f$ bf9LR1