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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 UmSy p\i  
    /}\EMP  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 lXS.,#lp  
    *94<rlh{"  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 W"_")V=QBz  
    xFt[:G`\}u  
    所需工具箱子:光栅工具箱 c1?_L(  
    2WRa@;Tj  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 }0Qex=vkO  
    9""e*-;Mi  
    建模任务 0m^(|=N-  
    W4Ey]y"  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 "+iPeRF!hU  
     s=&&gC1  
    )V<ML7_?  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 ^-9g_5  
    ruG5~dm>  
    l.c*, 9  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 )B86  
    SM2QF  
    tO$/|B74Bz  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    \Q"j^4   
    I5l5fx  
    W *t+!cU/:  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 z  %Ty;  
    9gFema{U  
    5J^S-K^r  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 =ILE/ pC-|  
    ]3xb Q1  
    owDp?Sy}E  
    X线偏振光模拟结果:
    roDE?7x1  
    ALVHKL2  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 J3OxM--8"  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 8LI,'XZ  
    xx`xDD  
    }&+b\RE  
    Y线偏光模拟结果 :C*7 DS  
    &eL02:[  
    1 PL2[_2:  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 o}q>oa b z  
    结论: N8!V%i?  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
    _?"P<3/iF  
     
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    离线二牛26
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?