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2w3LK2`ZL 内容简介 } =)u_q Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 8^+|I, 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 gJX"4]Ol#} 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 }a[]I%bu2 m jP 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 b#p0s?* 目录 z^`4n_(Ygu Preface 1 &WBpd}|+Y 内容简介 2 F?R6zvive 目录 i ;"0bVs`.^e 1 引言 1 8tR6.09' 2 光学薄膜基础 2 d;p3cW" 2.1 一般规则 2 L`K)mCr 2.2 正交入射规则 3 /klo),|& 2.3 斜入射规则 6 -XL?n/M 2.4 精确计算 7 (^FMm1@T 2.5 相干性 8 Uz,P^\8^$ 2.6 参考文献 10 Y\_mqd 3 Essential Macleod的快速预览 10 XrTc5V 4 Essential Macleod的特点 32 Z0zEX?2mb 4.1 容量和局限性 33 JUA%l 4.2 程序在哪里? 33 r9u'+$vmF 4.3 数据文件 35
yW1N&$n 4.4 设计规则 35 ,&4
[`d 4.5 材料数据库和资料库 37 @H$am 4.5.1材料损失 38 PSu]I?WF 4.5.1材料数据库和导入材料 39 jrN 5l1np 4.5.2 材料库 41 :KvZP:T 4.5.3导出材料数据 43 EeQ8Uxb7 4.6 常用单位 43 *vRHF1)L 4.7 插值和外推法 46 NiVLx_<Pr' 4.8 材料数据的平滑 50 rU"AO}6\@ 4.9 更多光学常数模型 54 u c!6?+0h 4.10 文档的一般编辑规则 55 p+b9D 4.11 撤销和重做 56 eyDI>7W 4.12 设计文档 57 {@7UfJh> 4.10.1 公式 58 C $])q`9 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 XS@iu,uO 4.10.3 沉积密度 59 W%ix|R^2] 4.10.4 平行和楔形介质 60 [7`S`\_NK 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 dfVI*5[Z 4.10.4 性能 61 gM1:*YK 4.10.5 保存设计和性能 64 |n,O!29 4.10.6 默认设计 64 lmoYQFkYP 4.11 图表 64 YGChVROG~ 4.11.1 合并曲线图 67 B
&Z0ZWx 4.11.2 自适应绘制 68 8b,Z)"(U3 4.11.3 动态绘图 68 [*)2Ou 4.11.4 3D绘图 69 ZT&[:>upR 4.12 导入和导出 73 p +JOUW 4.12.1 剪贴板 73 ?UflK 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 N/{=j 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 (0 t{ 4.13 背景 77 L67yL( d6a 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 :+_H%4+ 4.15 生成Rugate 84 X
J]+F 4.16 参考文献 91 :k.>H.8+~ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 u8A,f}D 3 5.1 Jobs 92 Rb
b[N#p5 5.2 创建一个新Job(工作) 93 T[},6I|! 5.3 输入材料 94 DP*V|) 5.4 设计数据文件夹 95 ct*~\C6Ze 5.5 默认设计 95 8_D:#i 6 细化和合成 97 gEVoY,}/-U 6.1 优化介绍 97 uh)f/)6 6.2 细化 (Refinement) 98 ;erxB6* 6.3 合成 (Synthesis) 100 |1OF!(: 6.4 目标和评价函数 101 'g)5vI~' 6.4.1 目标输入 102 z9AX8k(B6 6.4.2 目标 103 bsc b 6.4.3 特殊的评价函数 104 &{M-<M 6.5 层锁定和连接 104 M#],#o*G 6.6 细化技术 104 kbz+6LcV 6.6.1 单纯形 105 `o+J/nc 6.6.1.1 单纯形参数 106 \"K:<+RH 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 +@Kq 6.6.2.1 Optimac参数 108 S|RUc}( 6.6.3 模拟退火算法 109 i}:^<jDv? 6.6.3.1 模拟退火参数 109 LGRhCOP: 6.6.4 共轭梯度 111 :NwFJc 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 0F 4%Xz 6.6.5 拟牛顿法 112 J0@#xw=+ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 )lx;u.$4 6.6.6 针合成 113 4NFvX4 6.6.6.1 针合成参数 114 d5LL(
" 6.6.7 差分进化 114 >?X(,c 6.6.8非局部细化 115 FO|Eg9l 6.6.8.1非局部细化参数 115 jA%R8hdr_ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 %8%0l*n' 6.7.1 细化 116
3AuLRI 6.7.2 合成 117 L|2WTyMU 6.8 参考文献 117 ss7Z-A 4z 7 导纳图及其他工具 118 1NlpOVq:) 7.1 简介 118 UD]RWN 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
)Oj%3 7.2.1 四分之一波长规则 119 y=y#*yn & 7.2.2 导纳图 120 G`jJKiC 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Bd13p_V"6 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 s)~H_, 7.5 斜入射导纳图 141 6k\8ulHw 7.6 对称周期 141 }cy<$=c#E_ 7.7 参考文献 142 %Zu+=IZ 8 典型的镀膜实例 143 ~{yQsEU 8.1 单层抗反射薄膜 145 .TRp74 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 FVHR 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 0_map z 8.4 W-膜层 148 <m?/yREK2 8.5 V-膜层 149 T
3+lYE 8.6 V-膜层高折射基底 150 /kd6Yq(y 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 X9uYqvP\( 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 -+|{#cz 8.9 四层抗反射薄膜 153 ivl_= 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 h IUO=f 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 Zo5.Yse 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 &uTK@ G+ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 o{
\r1<D 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 jJY!;f 8.15十五层宽带抗反射膜 159 (=i+{
3`| 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 M$GZK'% 8.17 1/4波长堆栈 162 OOX}S1lA 8.18 陷波滤波器 163 -u'BK@; 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 'St\$X
8.20 褶皱 165 6~6*(s|]A 8.21 消偏振分光器1 169 1:iT#~n 8.22 消偏振分光器2 171 o4pe>hn 8.23 消偏振立体分光器 172 wS1zd? 8.24 消偏振截止滤光片 173 ob.=QQQs
8.25 立体偏振分束器1 174 7j L.\O 8.26 立方偏振分束器2 177 s3l:ST 8.27 相位延迟器 178 8(A+"H( 8.28 红外截止器 179 nqyB,vv0 8.29 21层长波带通滤波器 180 0V:PRq;v0 8.30 49层长波带通滤波器 181 V2|XcR 8.31 55层短波带通滤波器 182 vb Mv8Nk 8.32 47 红外截止器 183 T]Eg9Y:+v 8.33 宽带通滤波器 184 h wfKgsm 8.34 诱导透射滤波器 186 >)PcK 8.35 诱导透射滤波器2 188 8L*P!j9`EY 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 U*6)/.J 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 <O?UC/$)7 8.35 增益平坦滤波器 193 | sio:QP 8.38 啁啾反射镜 1 196 ep2#a#&' 8.39 啁啾反射镜2 198 `[Xff24(eb 8.40 啁啾反射镜3 199 ww"HV;i 8.41 带保护层的铝膜层 200 ta 66AEc9 8.42 增加铝反射率膜 201 ;4 ON 8.43 参考文献 202 2aUy1*aM 9 多层膜 204 RK`C31Ws 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 XZFM|=%X 9.2 内部透过率 204 noa=wy 9.3 内部透射率数据 205 g4 |s9RMD 9.4 实例 206 eO:wx.PW 9.5 实例2 210 n++L
=&Wd 9.6 圆锥和带宽计算 212 dLMKfh/4Q 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 qEoa%O 10 光学薄膜的颜色 216 Sc zYL?w^ 10.1 导言 216 l4sFT)}-J 10.2 色彩 216 +5+?)8Ls 10.3 主波长和纯度 220 4>&%N\$* 10.4 色相和纯度 221 '4nR ^, 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 f 6h!wx 10.6 色差 226 sSMcF[]@2I 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 RMx$]wn_ 10.8 颜色渲染指数 234 `'{>2d%\g 10.9 色差计算 235 ,:QzF"MV 10.10 参考文献 236 @;we4G5 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 [l2ds: 11.1 短脉冲 238 .*s1d)\: 11.2 群速度 239 Ol~jq;75 11.3 群速度色散 241 OA_Bz" 11.4 啁啾(chirped) 245 CN$wlhs 11.5 光学薄膜—相变 245 *L3>:],7 11.6 群延迟和延迟色散 246 n~g,qEI;<x 11.7 色度色散 246 l25E!E-'b 11.8 色散补偿 249 Qf|=xV,F 11.9 空间光线偏移 256 ;9r `P_r 11.10 参考文献 258 A@X&dy 12 公差与误差 260 m|)Mc VV 12.1 蒙特卡罗模型 260 SWYIQ7* 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 j~eYq 12.2.1 误差工具 267 4_E{ 12.2.2 灵敏度工具 271 w7?&eF(w( 12.2.2.1 独立灵敏度 271 R)3P"sGuN 12.2.2.2 灵敏度分布 275 <=
xmJx-V 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 G02(dj 12.3 参考文献 276 v^ a.
b 13 Runsheet 与Simulator 277 $vC!Us{z 13.1 原理介绍 277 JwNG`MGc 13.2 截止滤光片设计 277 Su0[f/4m.Q 14 光学常数提取 289 q#$4Kt; 14.1 介绍 289 pFLR!/J 14.2 电介质薄膜 289 \o-Q9V 14.3 n 和k 的提取工具 295 <(YmkOS+ 14.4 基底的参数提取 302 wr/Z)e =^3 14.5 金属的参数提取 306 ,iXE3TN;W 14.6 不正确的模型 306 O3JN?25s 14.7 参考文献 311 Qo!/]\ 15 反演工程 313 8$:4~:]/ 15.1 随机性和系统性 313 |-Z9-rl 15.2 常见的系统性问题 314 <|_/i/H 15.3 单层膜 314 8,BNs5 15.4 多层膜 314 $q]:m+Fm 15.5 含义 319 3d^zLL 15.6 反演工程实例 319 li4rK<O 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 -vcHSwGb 15.6.2 反演工程提取折射率 327 dF2 &{D"J 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 em 16.1 光学性质的热致偏移 329 @aU%1h5W;l 16.2 应力工具 335 uFM]4v3 16.3 均匀性误差 339 :xitV]1.
16.3.1 圆锥工具 339 85rXm*Df 16.3.2 波前问题 341 n{dl-P 16.4 参考文献 343 !@9Vq6 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 M^\#(0^2@ 17.1 引言 345 `B+P$K< |